一　適用範囲 

炭化ケイ素ウエハーの研磨に使用される 

二　製品特徴

 1.粒子径の均一性や分散性に優れる。

2．ダメージフリーの研磨加工面が得られる。 　

3．混合した後のスラリーpHが中性で、取り扱いしやすい。

4.たかい切削率が得られる、良品率が高い。

三　主要技術指標 

 備考：上記データは顧客様の要求によって調整できる。

 四　包装・荷姿

 5㎏/bucket　　20㎏/bucket